射頻/微波測量
1. 臺(tái)體及樣品臺(tái)尺寸：
- 4英寸/6英寸/8英寸/12英寸。
2. 顯微觀察倍率：
- 體視顯微鏡：綜合放大倍率14X~180X（配合CCD工業(yè)相機(jī)+顯示器），光學(xué)小分辨率約5微米；
- 金相顯微鏡：綜合放大倍率20X~500X （配合CCD工業(yè)相機(jī)+顯示器），光學(xué)小分辨率約2微米； 綜合放大倍率20X~2000X （配合CCD工業(yè)相機(jī)+顯示器），光學(xué)小分辨率約0.5微米。
3. 射頻探針座：
- 器件是幾端口：2端，3端，4端，特殊多端口器件；
- 測量何種參數(shù)：S參數(shù)、頻譜、介電常數(shù)、磁導(dǎo)率等；
- 配套儀表：矢量網(wǎng)絡(luò)分析儀、頻譜儀、信號(hào)發(fā)生器、示波器、鎖相放大器、數(shù)字源表、半導(dǎo)體參數(shù)分析儀等。
4. 射頻探針
- 有源射頻探針：測試電子管、晶體管、集成電路等信號(hào)的放大、轉(zhuǎn)換器件 ；
- 無源射頻探針：測試微波射頻器件，包括括轉(zhuǎn)換器、漸變器、匹配網(wǎng)絡(luò)、諧振器、濾波器、混頻器和開關(guān)等。
5. 其他配件：
- 射頻電纜、射頻轉(zhuǎn)接頭、射頻校準(zhǔn)件、真空氣泵、空氣壓縮機(jī)、隔振臺(tái)、屏蔽箱。