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工藝制程設備
等離子清洗機
等離子清洗機
可為幾乎所有類型的污染物、所有基材和所有后續(xù)處理提供解決方案,分解由分子級的工藝殘留污染物。...
HMDS預處理系統(tǒng)
HMDS預處理系統(tǒng)
HMDS晶片預處理系統(tǒng)主要用于半導體芯片涂膠前的預處理工藝,去除晶片表面的OH強基,形成HMDS膜,增強涂膠后的附著力,提高光刻質量增加成品率。...
無塵無氧烘箱
無塵無氧烘箱
該設備是一種新型工業(yè)級潔凈干燥設備,采用獨特的內外艙分體結構結合內循環(huán)風道設計,通過耐高溫超高效過濾器H.E.P.A不斷對內部進行自凈化過濾,從而形成高潔凈、溫度均勻的密閉的高溫熱風烘烤環(huán)境。...
高精密勻膠機
高精密勻膠機
SMCSpin150i/200i/300i系列精密型勻膠機脫胎于實驗室定制機型,它的旋轉及控制系統(tǒng)采用定制開發(fā)的無刷/同服電機,結構精密,制造嚴謹。...
高精密程控頂針加熱臺
高精密程控頂針加熱臺
加熱臺是一種用于加熱實驗室器血或樣品的設備,主要用于科研、教學和工業(yè)生產(chǎn)中的加熱實驗。...
光刻材料
光刻材料
l-line光刻膠、負性光刻膠、Remover300系列去膠液...
桌上濕法顯影刻蝕設備
桌上濕法顯影刻蝕設備
CDC濕法刻蝕顯影機適應丁半導體、化工材料、硅片、晶片、基片、導電玻璃等工藝,制版的表面顯影。...
F20薄膜厚度測量儀
F20薄膜厚度測量儀
使用F20高級頻諾反射測量系統(tǒng),我們能輕松的實現(xiàn)對膜層厚度和光學常數(shù)(n和k值)的測量。通過對膜層頂部、底部反射光諾進行分析,數(shù)秒內我們即可得到膜層的厚度、折射牢和消光系數(shù)。...
F50薄膜厚度測量儀
F50薄膜厚度測量儀
依靠F50先進的光譜測量系統(tǒng),可以很簡單快速地獲得最大直徑450毫米的樣品薄膜的厚度分布圖。采用r0極坐標移動平臺,可以非常快速的定位所需測試的點并測試厚度,每秒測試兩點...
國產(chǎn)膜厚測量儀
國產(chǎn)膜厚測量儀
配備精密多維運動控制系統(tǒng),可以實現(xiàn)隨樣品高度隨動,以及二維的膜厚mapping功能...
晶圓激光劃片機
晶圓激光劃片機
半導體晶圓芯片的激光劃片切割專用設備,具有激光功率穩(wěn)定、束光模式好、峰值功率高、低成本、安全、穩(wěn)定、操作簡單等特點...
晶圓半自動裂片機
晶圓半自動裂片機
適用于半導體產(chǎn)業(yè)中的GPP晶圓裂片...
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