平板探針臺
探針臺的系統(tǒng)組成包括：
探針臺體
體視顯微鏡
單筒顯微鏡
金相顯微鏡
觀察攝像組件
探針座&夾具
直流探針
開爾文探針
射頻/微波探針
光波探針
光學(xué)隔振臺
屏蔽黑箱
轉(zhuǎn)接頭
真空氣泵
其他升級組件
總體規(guī)格特點:
重量: 60kg
尺寸: 580mm寬x520mm深x700mm高
優(yōu)化的人體工學(xué)設(shè)計，便于工程師長時間舒適的操作。
針座臺面規(guī)格:
U型固定臺面，拋光不銹鋼+防腐氧化材質(zhì)，平整度：±3μm
載臺規(guī)格：
6英寸真空吸附樣品臺，提供氣源，平整度：±3μm，采用真空吸附方式吸附樣品，小真空吸附尺寸0.5mmx0.5mm，真空吸附尺寸150mmx150mm
樣品臺X-Y移動平臺，行程150mmx150mm，微調(diào)精度為1μm，無回差線性調(diào)節(jié)
樣品臺Y方向快速推進抽出，行程2英寸，方便快遞取放樣品
樣品臺Z方向微調(diào)升降10mm，微調(diào)精度為1μm
樣品臺水平θ角度調(diào)節(jié)范圍0°～360°，并微調(diào)±10°，微調(diào)精度0.01°
樣品臺電學(xué)獨立懸空，可接地或加載背柵電壓。
顯微鏡操控規(guī)格:
顯微鏡后側(cè)有X-Y軸調(diào)節(jié)小搖輪，可調(diào)節(jié)顯微鏡在X-Y方向的移動，移動范圍50mmX50mm，精度1μm
顯微鏡Z軸帶有調(diào)焦粗旋鈕和細旋鈕，粗旋鈕方便快速調(diào)焦,細旋鈕方便調(diào)焦，使顯微鏡在Z軸方向行程50.8mm，移動精度1μm
顯微鏡快速傾仰±30°功能，方便快速切換鏡頭，避免鏡頭切換時撞針。
應(yīng)用場景：
直流IV/CV測試
Pulse IV測試
阻抗測試
時域分析測試
有源射頻測試
無源射頻/微波測試
