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小型探針臺

探針臺的系統(tǒng)組成包括:

  • 探針臺體

  • 體視顯微鏡

  • 單筒顯微鏡

  • 觀察攝像組件

  • 探針座&夾具

  • 直流探針

  • 開爾文探針

  • 射頻/微波探針

  • 光波探針

  • 光學隔振臺

  • 屏蔽黑箱

  • 轉接頭

  • 真空氣泵

  • 其他升級組件

總體規(guī)格特點:

  • 重量:30kg

  • 尺寸:450mm寬x400mm深x600mm高

  • 優(yōu)化的人體工學設計,便于工程師長時間舒適的操作。 載臺(chuck)規(guī)格: 

  • 4英寸/6英寸載臺,直徑101.6mm/152.4mm,平整度:±3μm

  • 載臺采用真空吸附方式吸附樣品,小吸附樣品尺寸為5mmx5mm 

  • 載臺X-Y軸微調行程101.6mmX101.6mm,微調分辨率1μm

  • 載臺Z軸方向微調升降10mm,微調分辨率1μm

  • 載臺水平角度調節(jié)范圍0°~360°,旋轉精度0.01°

  • 載臺電學獨立懸空,可作背電極使用。


針座臺面規(guī)格:

  • U型拋光不銹鋼臺面

  • 針座臺面平整度:±3μm

  • 可容納針座數(shù)量:4~6個。


顯微鏡操縱規(guī)格:

  • 配有擺臂調節(jié)機構,可調節(jié)顯微鏡在X-Y任意方向的快速移動

  • 顯微鏡Z軸帶有調焦旋鈕,使顯微鏡在Z軸方向行程50.8mm,移動精度1μm。 


應用場景:

  • 直流IV/CV測試

  • Pulse IV測試

  • 阻抗測試

  • 時域分析測試

  • 有源射頻測試

  • 無源射頻/微波測試。



探針臺型號HTP-400      
HTP-600
外形尺寸寬450mm
       深 400mm
     高 600mm
寬450mm
深 400mm
高 600mm
整體重量約 30Kg約 40Kg
樣品臺尺寸φ4英寸φ6英寸
材質拋光不銹鋼/鍍金拋光不誘鋼/鍍金
平整度±3um
+3um
吸附方式真空吸附
真空吸附
電學特性浮地懸空
背電極信號加載&測量
浮地懸空
背電極信號加載&測量
X-Y軸調節(jié)行程4英寸*4英寸
6英寸x6英寸
X-Y軸調節(jié)方式線性無回差 1um 精調
線性無回差 1um 精調
Z 軸升降調節(jié)行程0-10mm,精度1um
0-10mm,精度1ym
θ水平方向旋轉角度粗調0-360°
0-360°
θ水平方向旋轉角度微調±5°,  精度 0.1°
±5°, 精度 0.1°
a垂直方向擺動角度微調+20°,精度 0.1°±20°,精度 0.1°
顯微鏡X-Y軸調節(jié)行程萬向臂快速調整
萬向臂快速調整
Z 軸升降行程50mm,粗細同軸調焦
50mm,粗細同軸調焦
顯微鏡類型三目體視/單筒顯微鏡
三目體視/單筒顯微鏡
光學倍率90X/135X1180X1270X
90X/1135X/1180X/270X
光學分辨率10um / 7.5um / 5.6um / 3.7um
10um / 7.5um /5.6um / 3.7um
工業(yè)相機像素1920 x 1060P
1920 x 1080P
針座臺面外型U型
U型
材質拋光不銹鋼
拋光不銹鋼
平整度±3um
±3um
容積至多放置6個探針座
至多放置6個探針座
探針李點測定位精度
1.4um / 0.7um /0.35um
1.4um /0 7um/0.35um
探針麈支持測量類型低頻/高頻/大功率/光波
低頻/高頻1大功率/光波
測量范圍低頻測量電流精度10pA(Coaxlal)
100fA (Traxlal)
10fA (Kelvin)
10pA (Coaxial)
100fA (Triaxal)
10fA (Kelvin)
高頻測量頻率范圍DC-1100GHz
DC-1100GHZ
大功率測量范圍10KV/1500A10KV/1500A
光波測量范圍紫外/可見光/紅外紫外/可見光/紅外

 

 

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