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總體規(guī)格特點:

• 重量：30kg

• 尺寸：450mm寬x400mm深x600mm高

• 優(yōu)化的人體工學設計，便于工程師長時間舒適的操作。 載臺（chuck）規(guī)格： 

• 4英寸/6英寸載臺，直徑101.6mm/152.4mm，平整度：±3μm

• 載臺采用真空吸附方式吸附樣品，小吸附樣品尺寸為5mmx5mm 

• 載臺X-Y軸微調行程101.6mmX101.6mm，微調分辨率1μm

• 載臺Z軸方向微調升降10mm，微調分辨率1μm

• 載臺水平角度調節(jié)范圍0°～360°，旋轉精度0.01°

• 載臺電學獨立懸空，可作背電極使用。

針座臺面規(guī)格:

• U型拋光不銹鋼臺面

• 針座臺面平整度：±3μm

• 可容納針座數(shù)量：4~6個。

顯微鏡操縱規(guī)格:

• 配有擺臂調節(jié)機構，可調節(jié)顯微鏡在X-Y任意方向的快速移動

• 顯微鏡Z軸帶有調焦旋鈕，使顯微鏡在Z軸方向行程50.8mm，移動精度1μm。 

應用場景：

• 直流IV/CV測試

• Pulse IV測試

• 阻抗測試

• 時域分析測試

• 有源射頻測試

• 無源射頻/微波測試。