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功率器件測(cè)量系統(tǒng)

功率器件測(cè)試系統(tǒng)

No.

Model

Description

QTY.

1.

探針臺(tái)

1.1.  6英寸/8英寸/12英寸探針臺(tái)體                                                               

1.2. 卡盤X/Y軸平面無間隙氣浮快速移動(dòng),移動(dòng)速率可調(diào),單手控制,快速移動(dòng)行程:8英寸X8英寸,任意位置自動(dòng)鎖止,同時(shí)X/Y軸平面無間隙微調(diào)移動(dòng)行程:8英寸X8英寸,精度:1um

1.3. 卡盤Z無間隙升降移動(dòng),行程:0~10mm,微調(diào)精度:1um

1.4. 探針平臺(tái)快速升降行程 0/0.3/3.0mm并帶自動(dòng)鎖定功能

1.5. 探針平臺(tái)微調(diào)升降行程 ±25mm,微調(diào)精度:1um,升降高度可顯示

1.6. 顯微鏡底座在 X-Y軸平面內(nèi)微調(diào)移動(dòng),行程:2英寸X2英寸,精度1微米

1.7. 顯微鏡Z軸氣浮快速升降,行程0~50mm,升降速率可調(diào)

1.8. 高分辨顯微觀察系統(tǒng),光學(xué)分辨率0.5um,配合2000萬像素高清工業(yè)相機(jī)和液晶顯示器,帶拍照、錄像和尺寸測(cè)量軟件

1.9. 直流、脈沖、高壓、大電流、高頻探針均可配置。

1

2.

高溫卡盤

2.1.  6英寸/8英寸/12英寸高溫卡盤,同軸結(jié)構(gòu),背柵電極測(cè)試,可兼容Banana、BNC、SHVTRIAX、HV TRIAX等測(cè)試接口

2.2.  溫度范圍:RT室溫 ~ +400

2.3.  溫度分辨率 0.1

2.4.  溫度穩(wěn)定性: ±0.1

2.5.  控溫方式 PID溫控器,比例微積分算法

1

3

高壓IV/CV儀表

3.1. 電壓范圍:±1500V,±3000V,±5000V,±10KV

3.2. 電流范圍:±500A,±1500A

3.3. 電壓最小分辨率:200 μV

3.4. 電流最小分辨率:10 fA

3.5. 多頻電容測(cè)量范圍:1 kHz to 5 MHz

 

1

5

測(cè)試軟件

5.1. 人機(jī)交互界面多功能軟件;

5.2. 具備數(shù)據(jù)圖形化分析功能,具備輸出通道、測(cè)試通道、輸出類型、掃描模式、電壓/電流參數(shù)、掃描步長(zhǎng)、輸出延遲、循環(huán)次數(shù)、接線方式設(shè)置功能;

5.3. 可實(shí)時(shí)測(cè)得IV曲線、VI曲線、IT曲線、VT曲線實(shí)時(shí)曲線;

5.4.濾波設(shè)置,對(duì)測(cè)量值取平均;

5.5. 手動(dòng)設(shè)置輸出和測(cè)量的量程范圍,也可設(shè)置自動(dòng)量程;

5.6. 設(shè)置測(cè)量積分時(shí)間,控制測(cè)量速率和精確度 

5.7. 通訊接口支持GPIB、RS-232USB、LAN;  

1


功率器件測(cè)試系統(tǒng)

No.

Model

Description

QTY.

1.

探針臺(tái)

1.1.  6英寸/8英寸/12英寸探針臺(tái)體                                                               

1.2. 卡盤X/Y軸平面無間隙氣浮快速移動(dòng),移動(dòng)速率可調(diào),單手控制,快速移動(dòng)行程:8英寸X8英寸,任意位置自動(dòng)鎖止,同時(shí)X/Y軸平面無間隙微調(diào)移動(dòng)行程:8英寸X8英寸,精度:1um

1.3. 卡盤Z無間隙升降移動(dòng),行程:0~10mm,微調(diào)精度:1um

1.4. 探針平臺(tái)快速升降行程 0/0.3/3.0mm并帶自動(dòng)鎖定功能

1.5. 探針平臺(tái)微調(diào)升降行程 ±25mm,微調(diào)精度:1um,升降高度可顯示

1.6. 顯微鏡底座在 X-Y軸平面內(nèi)微調(diào)移動(dòng),行程:2英寸X2英寸,精度1微米

1.7. 顯微鏡Z軸氣浮快速升降,行程0~50mm,升降速率可調(diào)

1.8. 高分辨顯微觀察系統(tǒng),光學(xué)分辨率0.5um,配合2000萬像素高清工業(yè)相機(jī)和液晶顯示器,帶拍照、錄像和尺寸測(cè)量軟件

1.9. 直流、脈沖、高壓、大電流、高頻探針均可配置。

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2.

高溫卡盤

2.1.  6英寸/8英寸/12英寸高溫卡盤,同軸結(jié)構(gòu),背柵電極測(cè)試,可兼容Banana、BNCSHV、TRIAX、HV TRIAX等測(cè)試接口

2.2.  溫度范圍:RT室溫 ~ +400

2.3.  溫度分辨率 0.1

2.4.  溫度穩(wěn)定性: ±0.1

2.5.  控溫方式 PID溫控器,比例微積分算法

1

3

高壓IV/CV儀表

3.1. 電壓范圍:±1500V,±3000V,±5000V,±10KV

3.2. 電流范圍:±500A,±1500A

3.3. 電壓最小分辨率:200 μV

3.4. 電流最小分辨率:10 fA

3.5. 多頻電容測(cè)量范圍:1 kHz to 5 MHz

 

1

5

測(cè)試軟件

5.1. 人機(jī)交互界面多功能軟件;

5.2. 具備數(shù)據(jù)圖形化分析功能,具備輸出通道、測(cè)試通道、輸出類型、掃描模式、電壓/電流參數(shù)、掃描步長(zhǎng)、輸出延遲、循環(huán)次數(shù)、接線方式設(shè)置功能;

5.3. 可實(shí)時(shí)測(cè)得IV曲線、VI曲線、IT曲線、VT曲線實(shí)時(shí)曲線;

5.4.濾波設(shè)置,對(duì)測(cè)量值取平均;

5.5. 手動(dòng)設(shè)置輸出和測(cè)量的量程范圍,也可設(shè)置自動(dòng)量程;

5.6. 設(shè)置測(cè)量積分時(shí)間,控制測(cè)量速率和精確度 

5.7. 通訊接口支持GPIB、RS-232、USB、LAN;  

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