光電測(cè)試系統(tǒng) | |||
No. | Model | Description | QTY. |
1. | 探針臺(tái) | 1.1．六英寸標(biāo)準(zhǔn)測(cè)試探針臺(tái) 1.2. 四探針，高精度定位底座，分辨率0.7微米 1.3. 雙通道源表的低漏電測(cè)試電纜和接口，0.1fA分辨率 1.4. 阻抗測(cè)試儀表的低漏電測(cè)試電纜和接口，0.1fF分辨率 1.5. 光學(xué)顯微鏡，分辨率3.5微米 1.6. 二千萬(wàn)像素工業(yè)相機(jī)，1X~5X數(shù)碼變焦，帶觀察測(cè)量軟件 1.7. 探針1.0/2.0/5.0/10.0微米 | 1 |
2. | 可調(diào)光源 | 2.1. 氙燈復(fù)合光源，電功率：150W，光譜范圍：200nm～2500nm 2.2. 三光柵單色儀，光譜范圍200-2500nm，焦距300mm，非對(duì)稱(chēng)水平光路設(shè)計(jì)，消二次色散設(shè)計(jì)，有效抑制雜散光 2.3．單色光推薦使用波長(zhǎng)范圍：250-1700nm，，輸出帶寬連續(xù)可調(diào)1～30nm 2.4. 六檔濾光片輪，3 位空擋，適用200-1800nm 2.5．電動(dòng)快門(mén)通光直徑20mm，含ms 級(jí)定時(shí)器 2.6．自動(dòng)軟件控制單色光波長(zhǎng)、光柵和濾光片輪，設(shè)置起始波長(zhǎng)，終止波長(zhǎng)，步長(zhǎng)間隔，延遲時(shí)間 2.7. 匹配探針臺(tái)用定制光纖輸出 | 1 |
3． | 數(shù)字源表 | 3.1．提供寬動(dòng)態(tài)范圍：200mV~200V, 1μA~1A, 20W 3.2．最小電流分辨率：0.1fA 3.3．最小電壓分辨率：1uV 3.4．四象限工作 3.5．內(nèi)置快速失敗/通過(guò)測(cè)試比較器 3.6．?dāng)?shù)字I/O提供快速分選與機(jī)械手連接GPIB,RS-232 3.7．觸發(fā)式連接面板 | 1 |
4． | 測(cè)試軟件 | 4.1. 人機(jī)交互界面多功能軟件； 4.2. 具備數(shù)據(jù)圖形化分析功能，具備輸出通道、測(cè)試通道、輸出類(lèi)型、掃描模式、電壓/電流參數(shù)、掃描步長(zhǎng)、輸出延遲、循環(huán)次數(shù)、接線方式設(shè)置功能； 4.3. 可實(shí)時(shí)測(cè)得IV曲線、VI曲線、IT曲線、VT曲線、RT曲線、PT曲線、RV曲線、FET特性曲線、BJT特性曲線； 4.4．濾波設(shè)置，對(duì)測(cè)量值取平均； 4.5. 手動(dòng)設(shè)置輸出和測(cè)量的量程范圍，也可設(shè)置自動(dòng)量程； 4.6. 設(shè)置測(cè)量積分時(shí)間，控制測(cè)量速率和精確度，積分時(shí)間可設(shè)置為0.001s～25s； 4.7. 通訊接口支持GPIB、RS-232、USB、LAN； | 1 |