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總體規(guī)格特點(diǎn):

• 重量:  60kg 

• 尺寸:  580mm寬x520mm深x700mm高 

• 優(yōu)化的人體工學(xué)設(shè)計(jì)，便于工程師長時間舒適的操作。

針座臺面規(guī)格:

• U型固定臺面，拋光不銹鋼+防腐氧化材質(zhì)，平整度：±3μm

載臺規(guī)格：

• 6英寸真空吸附樣品臺，提供氣源，平整度：±3μm，采用真空吸附方式吸附樣品，小真空吸附尺寸0.5mmx0.5mm，真空吸附尺寸150mmx150mm

• 樣品臺X-Y移動平臺，行程150mmx150mm，微調(diào)精度為1μm，無回差線性調(diào)節(jié)

• 樣品臺Y方向快速推進(jìn)抽出，行程2英寸，方便快遞取放樣品  

• 樣品臺Z方向微調(diào)升降10mm，微調(diào)精度為1μm

• 樣品臺水平θ角度調(diào)節(jié)范圍0°～360°，并微調(diào)±10°，微調(diào)精度0.01°

• 樣品臺電學(xué)獨(dú)立懸空，可接地或加載背柵電壓。

顯微鏡操控規(guī)格:

• 顯微鏡后側(cè)有X-Y軸調(diào)節(jié)小搖輪，可調(diào)節(jié)顯微鏡在X-Y方向的移動，移動范圍50mmX50mm，精度1μm
  

• 顯微鏡Z軸帶有調(diào)焦粗旋鈕和細(xì)旋鈕，粗旋鈕方便快速調(diào)焦,細(xì)旋鈕方便調(diào)焦，使顯微鏡在Z軸方向行程50.8mm，移動精度1μm
  

• 顯微鏡快速傾仰±30°功能，方便快速切換鏡頭，避免鏡頭切換時撞針。
  

應(yīng)用場景：

• 直流IV/CV測試  
  

• Pulse IV測試
  

• 阻抗測試
  

• 時域分析測試
  

• 有源射頻測試
  

• 無源射頻/微波測試