大功率探針臺
探針臺的系統(tǒng)組成包括:
探針臺體
體視顯微鏡
金相顯微鏡
觀察攝像組件
探針座&夾具
直流探針
開爾文探針
射頻/微波探針
光波探針
光學隔振臺
轉(zhuǎn)接頭
其他升級組件
總體規(guī)格特點:
重量: 60kg
尺寸: 580mm寬x520mm深x700mm高
優(yōu)化的人體工學設計,便于工程師長時間舒適的操作。
針座臺面規(guī)格:
U型固定臺面,拋光不銹鋼+防腐氧化材質(zhì),平整度:±3μm
載臺規(guī)格:
6英寸真空吸附樣品臺,提供氣源,平整度:±3μm,采用真空吸附方式吸附樣品,小真空吸附尺寸0.5mmx0.5mm,真空吸附尺寸150mmx150mm
樣品臺X-Y移動平臺,行程150mmx150mm,微調(diào)精度為1μm,無回差線性調(diào)節(jié)
樣品臺Y方向快速推進抽出,行程2英寸,方便快遞取放樣品
樣品臺Z方向微調(diào)升降10mm,微調(diào)精度為1μm
樣品臺水平θ角度調(diào)節(jié)范圍0°~360°,并微調(diào)±10°,微調(diào)精度0.01°
樣品臺電學獨立懸空,可接地或加載背柵電壓。
顯微鏡操控規(guī)格:
顯微鏡后側(cè)有X-Y軸調(diào)節(jié)小搖輪,可調(diào)節(jié)顯微鏡在X-Y方向的移動,移動范圍50mmX50mm,精度1μm
顯微鏡Z軸帶有調(diào)焦粗旋鈕和細旋鈕,粗旋鈕方便快速調(diào)焦,細旋鈕方便調(diào)焦,使顯微鏡在Z軸方向行程50.8mm,移動精度1μm
顯微鏡快速傾仰±30°功能,方便快速切換鏡頭,避免鏡頭切換時撞針。
應用場景:
直流IV/CV測試
Pulse IV測試
阻抗測試
時域分析測試
有源射頻測試
無源射頻/微波測試