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大功率探針臺

探針臺的系統(tǒng)組成包括:

  • 探針臺體

  • 體視顯微鏡

  • 金相顯微鏡

  • 觀察攝像組件

  • 探針座&夾具

  • 直流探針

  • 開爾文探針

  • 射頻/微波探針

  • 光波探針

  • 光學(xué)隔振臺

  • 轉(zhuǎn)接頭

  • 其他升級組件

總體規(guī)格特點(diǎn):

  • 重量:  60kg 

  • 尺寸:  580mm寬x520mm深x700mm高 

  • 優(yōu)化的人體工學(xué)設(shè)計(jì),便于工程師長時間舒適的操作。


針座臺面規(guī)格:

  • U型固定臺面,拋光不銹鋼+防腐氧化材質(zhì),平整度:±3μm

載臺規(guī)格:

  • 6英寸真空吸附樣品臺,提供氣源,平整度:±3μm,采用真空吸附方式吸附樣品,小真空吸附尺寸0.5mmx0.5mm,真空吸附尺寸150mmx150mm

  • 樣品臺X-Y移動平臺,行程150mmx150mm,微調(diào)精度為1μm,無回差線性調(diào)節(jié)

  • 樣品臺Y方向快速推進(jìn)抽出,行程2英寸,方便快遞取放樣品  

  • 樣品臺Z方向微調(diào)升降10mm,微調(diào)精度為1μm

  • 樣品臺水平θ角度調(diào)節(jié)范圍0°~360°,并微調(diào)±10°,微調(diào)精度0.01°

  • 樣品臺電學(xué)獨(dú)立懸空,可接地或加載背柵電壓。

顯微鏡操控規(guī)格:

  • 顯微鏡后側(cè)有X-Y軸調(diào)節(jié)小搖輪,可調(diào)節(jié)顯微鏡在X-Y方向的移動,移動范圍50mmX50mm,精度1μm

  • 顯微鏡Z軸帶有調(diào)焦粗旋鈕和細(xì)旋鈕,粗旋鈕方便快速調(diào)焦,細(xì)旋鈕方便調(diào)焦,使顯微鏡在Z軸方向行程50.8mm,移動精度1μm

  • 顯微鏡快速傾仰±30°功能,方便快速切換鏡頭,避免鏡頭切換時撞針。


應(yīng)用場景:

  • 直流IV/CV測試  

  • Pulse IV測試

  • 阻抗測試

  • 時域分析測試

  • 有源射頻測試

  • 無源射頻/微波測試

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