真空高低溫探針臺(tái)
探針臺(tái)的系統(tǒng)組成包括：
真空探針臺(tái)體
溫控系統(tǒng)
交變磁場(chǎng)
單筒顯微鏡
體視顯微鏡
觀察攝像組件
直流探針
開(kāi)爾文探針
射頻/微波探針
光波探針
光學(xué)隔振臺(tái)
轉(zhuǎn)接頭
其他升級(jí)組件
溫度范圍：
密閉低溫+高溫：-60℃ ~ +120 ℃/ 200℃/400 ℃
真空低溫+高溫：-196 ℃ /269 ℃ ~ +120 ℃/ 200 ℃/ 400 ℃/500 ℃/900℃/1200℃
樣品臺(tái)尺寸：
密閉高低溫樣品臺(tái)：4英寸/6英寸/8英寸/12英寸
真空高低溫樣品臺(tái)：1.25英寸/2英寸/4英寸
顯微觀察倍率：
體視顯微鏡：綜合放大倍率14X~200X（配合CCD相機(jī)+顯示器），光學(xué)小分辨率約5微米；
金相顯微鏡：綜合放大倍率20X~2000X （配合CCD相機(jī)+顯示器），光學(xué)小分辨率約0.5微米。
微定位座和夾具：
器件是幾端口，二極管為2端，三極管為3端，場(chǎng)效應(yīng)管為4端，特殊多端口器件；
測(cè)量何種參數(shù)，電壓、電流、電阻、電容、單色光、激光、光譜、光強(qiáng)等；
配套儀表，數(shù)字源表、半導(dǎo)體參數(shù)分析儀、矢量網(wǎng)絡(luò)分析儀、頻譜儀、信號(hào)發(fā)生器、示波器、鎖相放大器等
