探針臺
1.1. 8英寸-80℃ to +200℃高低溫密閉腔體
1.2.卡盤X/Y軸平面無間隙氣浮快速移動，移動速率可調(diào)，單手控制，快速移動行程：8英寸X8英寸，任意位置自動鎖止，同時X/Y軸平面無間隙微調(diào)移動行程：8英寸X8英寸，精度：1um
1.3.卡盤Z軸無間隙升降移動，行程：0~10mm，微調(diào)精度：1um
1.4.探針平臺快速升降行程 0/0.3/3.0mm并帶自動鎖定功能
1.5.顯微鏡底座在 X-Y軸平面內(nèi)微調(diào)移動，行程：2英寸X2英寸，精度1微米
1.6.顯微鏡Z軸氣浮快速升降，行程0~50mm，升降速率可調(diào)
1.7.高分辨顯微觀察系統(tǒng)，光學(xué)分辨率0.5um，配合2000萬像素高清工業(yè)相機(jī)和液晶顯示器，帶拍照、錄像和尺寸測量軟件
1.8.直流、脈沖、高壓、大電流、高頻探針均可配置。
高低溫卡盤
2.1. 8英寸高低溫卡盤，同軸結(jié)構(gòu)，背柵電極測試，可兼容Banana、BNC、TRIAX、SMA、HV TRIAX等測試接口
2.2. 溫度范圍：-80℃ to +200℃
2.3. 溫度分辨率 ： 0.1℃
2.4. 溫度穩(wěn)定性： ±0.1℃
2.5. 控溫方式 ： 全自動控溫軟件，一鍵控制溫控器、傳感器和液氮流量
IV儀表
3.1. 提供寬動態(tài)范圍：200mV~200V, 1μA~1A, 20W
3.2. 最小電流分辨率：0.1fA
3.3. 最小電壓分辨率：1uV
3.4. 四象限工作
3.5. 數(shù)字I/O提供快速分選與機(jī)械手連接GPIB,RS-232
CV儀表
4.1. 測量頻率DC，4Hz~8MHz(10 mHz~100 Hz步進(jìn))
4.2. 測量模式：單次/連續(xù)測量
4.3. 基本精度Z: 0.05 % rdg. θ: 0.03°
4.4 最小電容分辨率：0.1fF
4.5. DC偏壓-200V~+200V
測試軟件
5.1. 人機(jī)交互界面多功能軟件；
5.2. 具備數(shù)據(jù)圖形化分析功能，具備輸出通道、測試通道、輸出類型、掃描模式、電壓/電流參數(shù)、掃描步長、輸出延遲、循環(huán)次數(shù)、接線方式設(shè)置功能；
5.3. 可實時測得IV曲線、VI曲線、IT曲線、VT曲線、RT曲線、PT曲線、RV曲線、FET特性曲線、BJT特性曲線、C-F、C-V、C-T實時曲線；
5.4．濾波設(shè)置，對測量值取平均；
5.5. 手動設(shè)置輸出和測量的量程范圍，也可設(shè)置自動量程；
5.6. 設(shè)置測量積分時間，控制測量速率和精確度，積分時間可設(shè)置為0.001s～25s；
5.7. 通訊接口支持GPIB、RS-232、USB、LAN；