閉循環(huán)低溫探針臺(tái)
總體規(guī)格特點(diǎn):
重量：200kg
尺寸：800mm長(zhǎng)x800mm寬600mm高（含顯微鏡）
總功耗：8KW（其中壓縮機(jī)功耗約7KW，其余約1KW）
總體規(guī)格特點(diǎn):
重量：200kg
尺寸：800mm長(zhǎng)x800mm寬600mm高（含顯微鏡）
總功耗：8KW（其中壓縮機(jī)功耗約7KW，其余約1KW）
結(jié)構(gòu)說(shuō)明：
真空腔體：
密閉真空倉(cāng)，體積25L，極限耐壓真空度可以達(dá)到1×10-10mbar，結(jié)合排氣過(guò)濾器，避免污染客戶的工作環(huán)境。頂部設(shè)計(jì)為易于打開(kāi)的倉(cāng)體門，便于取放被測(cè)器件。頂部為高透光紅外隔熱熔融石英視窗，用于顯微鏡進(jìn)行觀察。內(nèi)部配置2英寸同軸接地合金樣品座和4英寸樣品座電磁屏蔽保護(hù)層，與樣品座等電勢(shì)位，電流泄漏最低10fA。
P1. 腔體內(nèi)部圖
溫控模塊：
采用高性能的26C四通道精密溫度控制器、溫度傳感器及加熱器，閉循環(huán)制冷溫控范圍4K ~ 400K / 10K ~400K。對(duì)低于室溫的溫度設(shè)置點(diǎn)，由低溫制冷機(jī)來(lái)實(shí)現(xiàn)降溫；當(dāng)需要升溫時(shí)采用溫控儀的加熱器功能，控制器將實(shí)現(xiàn)溫度的平穩(wěn)控制，溫控精度為1mK（0.001℃）， 溫控穩(wěn)定度10mK（0.01℃），溫度測(cè)量誤差小于20ppm/℃。
熱管理模塊/熱沉處理：
溫度傳感器分別安裝在樣品臺(tái)、探針臂和防熱輻射屏上，提供一個(gè)準(zhǔn)確的控溫環(huán)境。探針臂、探針、防輻射層和樣品座之間做熱沉處理，實(shí)現(xiàn)各者之間的溫度同步控制。同時(shí)探針做熱補(bǔ)償，防止變溫實(shí)驗(yàn)時(shí)探針產(chǎn)生位移離開(kāi)樣品接觸點(diǎn)。
閉循環(huán)制冷模塊：
閉循環(huán)制冷采用高效G-M循環(huán)和二級(jí)回?zé)嶂评錂C(jī)、高功率壓縮機(jī)組成，制冷機(jī)的作用是產(chǎn)生連續(xù)閉合的制冷循環(huán)，壓縮機(jī)的作用是提供高壓氦氣。G-M制冷機(jī)提供探針臺(tái)所需要的冷源，這種制冷方式的優(yōu)點(diǎn)是只需要電能，使用不受冷媒限制不消耗冷媒。這種制冷方式的低溫探針臺(tái)使用4K或者10K閉循環(huán)制冷機(jī)，相對(duì)應(yīng)的樣品臺(tái)溫度最低低于4K和10K。制冷機(jī)的一級(jí)制冷平臺(tái)冷卻輻射屏以及支撐連接部分，二級(jí)制冷平臺(tái)冷卻樣品臺(tái)和探針。
P2. 兩級(jí)G-M循環(huán)型制冷機(jī)
探針控制模塊：
真空倉(cāng)外接最多六個(gè)剛性結(jié)構(gòu)真空波紋管臂，每個(gè)管臂均可在XYZ三維線性方向和?水平夾角進(jìn)行微調(diào)，實(shí)現(xiàn)對(duì)真空倉(cāng)內(nèi)部探針的定位調(diào)節(jié)。管臂采用線性軌道和四維微分頭結(jié)構(gòu)，XYZ三維線性調(diào)節(jié)范圍為50mmx25mmx25mm，調(diào)節(jié)精度1微米，?水平夾角可調(diào)節(jié)范圍±5°，角度精度0.01°。每個(gè)真空波紋管臂提供2個(gè)真空電學(xué)接口，適用于DC/Pulse/RF測(cè)試。
顯微鏡模塊：
采用視頻顯微鏡，萬(wàn)向調(diào)節(jié)展臂，可X-Y-Z任意方向移動(dòng)，配合高清工業(yè)相機(jī)和液晶監(jiān)視器，實(shí)現(xiàn)um級(jí)別的觀察分辨率。
隔震模塊：
與測(cè)試平臺(tái)一體式氣墊隔震支架系統(tǒng)，承重：300KG，真空隔震垂直頻率優(yōu)于1 Hz，水平頻率優(yōu)于2 Hz，隔震效果優(yōu)于0.5微米