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鐳射分析探針臺

探針臺的系統(tǒng)組成包括:

  • 探針臺體

  • 金相顯微鏡

  • 激光鐳射

  • 觀察攝像組件

  • 探針座&夾具

  • 直流探針

  • 開爾文探針

  • 射頻/微波探針

  • 光波探針

  • 光學(xué)隔振臺

  • 屏蔽黑箱

  • 轉(zhuǎn)接頭

  • 真空氣泵

  • 其他升級組件

總體規(guī)格特點:

  • 重量:  80kg @6inch臺體,100kg @8inch臺體,120kg @12inch臺體

  • 尺寸:  580mm寬x520mm深x700mm高 @6inch臺體,
    760mm寬x670mm深x750mm高 @8inch臺體,
    930mm寬x900mm深x800mm高 @12inch臺體

  • 優(yōu)化的人體工學(xué)設(shè)計,便于工程師長時間舒適的操作。


 針座臺面規(guī)格:

  • U型固定臺面,拋光不銹鋼+防腐氧化材質(zhì),平整度:±3μm

  • 平臺臺面快速線性升降,升降行程有0mm/0.3mm/3mm三檔扣調(diào)節(jié),在探針點測時可以快速抬針,方便對待測點的重選擇

  • 平臺臺面微調(diào)線性升降,微調(diào)升降行程20mm,精度1μm。在探針臺加裝探針卡點測時方便對待測點的復(fù)位,或者點測相同排列的待測點時,實現(xiàn)多根探針或光纖的高效重復(fù)測量。


載臺規(guī)格:(即chuck)

  • 6英寸/8英寸/12英寸載臺,平整度:±3μm,采用真空吸附方式吸附樣品,小吸附尺寸為0.5mmx0.5mm,吸附尺寸6x6英寸/8x8英寸/12x12英寸英寸

  • 載臺X-Y移動平臺,行程6x6英寸/8x8英寸/12x12英寸,保證待測樣品的每一點都能夠點測到,同時配備微調(diào)旋鈕,微調(diào)精度為1μm,無回差線性調(diào)節(jié)

  • 載臺X-Y移動平臺可升級氣浮快速移動,移動范圍不小于6x6英寸/8x8英寸/12x12英寸,方便快速定位測試點

  • 載臺Y方向快速抽進抽出,行程2英寸,方便快遞取放樣品  

  • 載臺水平θ角度調(diào)節(jié)范圍0°~360°,并微調(diào)±10°,微調(diào)精度0.01°

  • 載臺電學(xué)獨立懸空,可接地或加載背柵電壓。


顯微鏡操控規(guī)格:

  • 顯微鏡后側(cè)有X-Y軸調(diào)節(jié)小搖輪,可調(diào)節(jié)顯微鏡在X-Y方向的移動,移動范圍50mmX50mm,精度1μm

  • 顯微鏡Z軸帶有調(diào)焦粗旋鈕和細旋鈕,粗旋鈕方便快速調(diào)焦,細旋鈕方便調(diào)焦,使顯微鏡在Z軸方向行程50.8mm,移動精度1μm

  • 顯微鏡快速傾仰±30°功能,方便快速切換多組長焦物鏡,避免鏡頭切換時撞針

  • 顯微鏡可升級Z軸方向氣動快速升降功能,方便切換多組長焦物鏡和快速重復(fù)聚焦。

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