小型真空高低溫探針臺
探針臺的系統(tǒng)組成包括：
探針臺體
顯微鏡
觀察攝像組件
探針座&夾具
直流探針
開爾文探針
射頻/微波探針
光波探針
光學(xué)隔振臺
轉(zhuǎn)接頭
真空氣泵
其他升級組件
總體規(guī)格特點:
重量：30kg
尺寸：450mm寬x400mm深x600mm高
優(yōu)化的人體工學(xué)設(shè)計，便于工程師長時間舒適的操作。
載臺（chuck）規(guī)格：
4英寸/6英寸載臺，直徑101.6mm/152.4mm，平整度：±3μm
載臺采用真空吸附方式吸附樣品，小吸附樣品尺寸為5mmx5mm
載臺X-Y軸微調(diào)行程101.6mmX101.6mm，微調(diào)分辨率1μm
載臺Z軸方向微調(diào)升降10mm，微調(diào)分辨率1μm
載臺水平角度調(diào)節(jié)范圍0°～360°，旋轉(zhuǎn)精度0.01°
載臺電學(xué)獨立懸空，可作背電極使用。
針座臺面規(guī)格:
U型拋光不銹鋼臺面
針座臺面平整度：±3μm
可容納針座數(shù)量：4~6個。
顯微鏡操縱規(guī)格:
配有擺臂調(diào)節(jié)機構(gòu)，可調(diào)節(jié)顯微鏡在X-Y任意方向的快速移動
顯微鏡Z軸帶有調(diào)焦旋鈕，使顯微鏡在Z軸方向行程50.8mm，移動精度1μm。
應(yīng)用場景：
直流IV/CV測試
Pulse IV測試
阻抗測試
時域分析測試
有源射頻測試
無源射頻/微波測試。
