通用探針臺(tái)
探針臺(tái)的系統(tǒng)組成包括：
探針臺(tái)體
體視顯微鏡
單筒顯微鏡
金相顯微鏡
觀察攝像組件
探針座&夾具
直流探針
開(kāi)爾文探針
射頻/微波探針
光波探針
光學(xué)隔振臺(tái)
屏蔽黑箱
轉(zhuǎn)接頭
真空氣泵
其他升級(jí)組件
總體規(guī)格特點(diǎn):
重量: 60kg
尺寸: 580mm寬x520mm深x700mm高
優(yōu)化的人體工學(xué)設(shè)計(jì)，便于工程師長(zhǎng)時(shí)間舒適的操作。
針座臺(tái)面規(guī)格:
U型固定臺(tái)面，拋光不銹鋼+防腐氧化材質(zhì)，平整度：±3μm
載臺(tái)規(guī)格：
6英寸真空吸附樣品臺(tái)，提供氣源，平整度：±3μm，采用真空吸附方式吸附樣品，小真空吸附尺寸0.5mmx0.5mm，真空吸附尺寸150mmx150mm
樣品臺(tái)X-Y移動(dòng)平臺(tái)，行程150mmx150mm，微調(diào)精度為1μm，無(wú)回差線性調(diào)節(jié)
樣品臺(tái)Y方向快速推進(jìn)抽出，行程2英寸，方便快遞取放樣品
樣品臺(tái)Z方向微調(diào)升降10mm，微調(diào)精度為1μm
樣品臺(tái)水平θ角度調(diào)節(jié)范圍0°～360°，并微調(diào)±10°，微調(diào)精度0.01°
樣品臺(tái)電學(xué)獨(dú)立懸空，可接地或加載背柵電壓。
顯微鏡操控規(guī)格:
顯微鏡后側(cè)有X-Y軸調(diào)節(jié)小搖輪，可調(diào)節(jié)顯微鏡在X-Y方向的移動(dòng)，移動(dòng)范圍50mmX50mm，精度1μm
顯微鏡Z軸帶有調(diào)焦粗旋鈕和細(xì)旋鈕，粗旋鈕方便快速調(diào)焦,細(xì)旋鈕方便調(diào)焦，使顯微鏡在Z軸方向行程50.8mm，移動(dòng)精度1μm
顯微鏡快速傾仰±30°功能，方便快速切換鏡頭，避免鏡頭切換時(shí)撞針。
應(yīng)用場(chǎng)景：
直流IV/CV測(cè)試
Pulse IV測(cè)試
阻抗測(cè)試
時(shí)域分析測(cè)試
有源射頻測(cè)試
無(wú)源射頻/微波測(cè)試
