直流探針
| 針尖材質(zhì) | 高純度固體鎢針 |
| 針尖半徑 | 1/2/5/10 微米針尖半徑 |
| 針尖長度 | 針長 1.26 英寸，約 3cm |
| 包裝數(shù)量 | 5根/盒裝 |
開爾文探針
開爾文探針規(guī)格和應(yīng)用特點：
探針做熱補充處理，防止變溫實驗時探針產(chǎn)生位移離開樣品接觸點
雙SSMC接頭，同軸Kelvin開爾文設(shè)計
兩組探針可實現(xiàn)四線法連接，進行IV/CV/Pulse IV測量
可替換針尖，常用針尖半徑有1.5 / 5.0 / 10.0 μm
直流小信號測量電流精度<10fA
LCR測試<10fF
時序信號完整性測試
脈沖激發(fā)/測量，脈沖小信號測量時間精度10ns
開爾文同軸探針工作原理示意圖：
上圖紅色方框內(nèi)為本次所說明的探針夾具，下圖為放大后的連線使用
詳解圖：
開爾文同軸探針與泰克4200A-SCS半導(dǎo)體參數(shù)測試儀連接實測的漏電流數(shù)據(jù)圖如下：
射頻高阻有源同軸探針
多用途高速無源同軸探針
微波無源同軸探針
波導(dǎo)同軸探針
微波&直流混合探針卡
微波&射頻校準片
探測光纖
探測光纖規(guī)格：
真空陶瓷探針
真空陶瓷探針規(guī)格和應(yīng)用特點：
探針為陶瓷襯底的同軸設(shè)計，分為內(nèi)層芯體和外層Guard保護層。
探針的Guard保護層與探針臺內(nèi)部的同軸電纜線的外層屏蔽線連接，同軸電纜再與探針臺外部的三同軸接口連接，實現(xiàn)從探針臺外部接口到探針之間電信號的全程Guard保護性傳輸。
配合半導(dǎo)體分析儀或高精度源表測試微小漏電流小于100 fA。
探針熱沉到樣品臺，減小探針和樣品臺的溫差。
針尖直徑有5.0μm / 10.0μm。
陶瓷探針與泰克4200A-SCS半導(dǎo)體參數(shù)測試儀連接實測的漏電流數(shù)據(jù)圖如下：
