微定位底座
精細(xì)準(zhǔn)確的探針座微定位功能
1. 精細(xì)螺紋加工技術(shù)，螺紋牙距80TPI/100TPI/200TPI/300TPI，對(duì)應(yīng)的定位精度分別為1.4微米/0.7微米/0.35微米/0.25微米；螺紋牙距指的是相鄰兩牙在中徑線(xiàn)上對(duì)應(yīng)兩點(diǎn)間的軸向距離。用TPI=Thread Per Inch即每英寸（25.4mm）有多少個(gè)螺牙來(lái)表示。
例如：100TPI代表的位移精度=25.4mm/100/360°=0.0007mm=0.7μm；2. 線(xiàn)性V型軌道設(shè)計(jì)，從頭到尾、由正向反順暢一致的行程，無(wú)蛇形、無(wú)回差準(zhǔn)確地“定點(diǎn)降落”到測(cè)試點(diǎn)；
3. 精密裝配技術(shù)，數(shù)月、數(shù)年的反復(fù)使用，無(wú)崩牙，極低故障率。
HMP-200規(guī)格：
重量 1200克
精度 0.35μm
牙距 200螺紋/英寸
X-Y-Z線(xiàn)性移動(dòng)范圍 12mmX12mmX12mm
特點(diǎn)：無(wú)回差線(xiàn)性移動(dòng)，可靠性非常好
吸附類(lèi)型：磁性可開(kāi)關(guān)型吸附底座
三同軸（Triaxial）探針夾具
適用于測(cè)量微弱電流<100fA
HMP-100規(guī)格：
重量 1000克
精度 0.7μm
牙距 200螺紋/英寸
X-Y-Z線(xiàn)性移動(dòng)范圍 12mmX12mmX12mm
特點(diǎn)：無(wú)回差線(xiàn)性移動(dòng)，可靠性好
吸附類(lèi)型：磁性可開(kāi)關(guān)型吸附底座
三同軸（Triaxial）探針夾具
適用于測(cè)量微弱電流<100fA
HMP-80 規(guī)格：
重量 500克
精度 1μm
牙距 80螺紋/英寸
X-Y-Z線(xiàn)性移動(dòng)范圍 12mmX12mmX12mm
特點(diǎn)：無(wú)回差線(xiàn)性移動(dòng)，可靠性好
吸附類(lèi)型：磁性可開(kāi)關(guān)型吸附底座
三同軸（Triaxial）探針夾具，弱電流測(cè)量精度<100fA
同軸（Coaxial）探針夾具，弱電流測(cè)量精度<10pA。