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常見的半導體晶圓(Wafer)量測方法
1.晶圓缺陷粒子檢測系統(tǒng)顆粒和缺陷:顆粒和缺陷導致晶圓表面不規(guī)則形貌。散射入射光:通過檢測散射光來監(jiān)測顆粒和缺陷。晶圓缺陷檢測系統(tǒng)可以通過獲取缺陷的(X,Y)坐標來檢測晶圓上的物理缺陷(顆粒)和圖案缺...
2024-05-27
天恒科儀(蘇州)光電技術(shù)有限公司
天恒科儀(蘇州)光電技術(shù)有限公司總部位于中國蘇州,是中國半導體精密分析技術(shù)及解決方案的研發(fā)商和生產(chǎn)商,以光電精密分析技術(shù)為核心的引領(lǐng)者,客戶遍布多個國家和全國各......
2024-06-04
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