探針臺選型指南

1.探針臺體尺寸：

• 4英寸/6英寸/8英寸/12英寸；
• 決定了載物臺放樣品的尺寸、載物臺的X-Y行程。

2.顯微觀察倍率：

• 體視顯微鏡：綜合放大倍率14X~200X（配合CCD相機+顯示器），光學小分辨率約5微米）；
• 金相顯微鏡：綜合放大倍率20X~2000X （配合CCD相機+顯示器），光學小分辨率約0.5微米）。

3.探針座和夾具：

• 器件是幾端口：二極管為2端，三極管為3端；
• 測量何種參數(shù)：電壓、電流、電阻、電容、單色光、激光、光譜、光強；
• 配套儀表：數(shù)字源表、半導體參數(shù)分析儀、矢量網絡分析儀、頻譜儀、信號發(fā)生器、示波器、鎖相放大器等。

4.屏蔽和隔振：

• 防靜電、遮光線、實驗室環(huán)境電磁干擾、樓層振動、操作振動。

光電集成方案

1.光源種類：

• 光源+單色儀：波長可調節(jié)，能量較小。
• 激光光源：單波長、能量較大。

2.光電結合方式：

• 將外加光源引入探針臺顯微鏡接口，讓外加光從顯微鏡物鏡頭出射到樣品
  優(yōu)點：利用探針臺顯微鏡觀察定位 外加光源的光斑，垂直90°出射，移動定位便捷；
  缺點：外加光 經過顯微鏡內部后，衰減較大。
• 利用探針座特制夾具，夾持光纖，選取出射角度
  優(yōu)點：光衰減小，照射角度靈活定制；
  缺點：不同波長或類型的光纖，需要定制多種不同光纖夾具。